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等離子蝕刻設備一般工作氣體有哪些?_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設備一般工作氣體有哪些?
2020-05-09
master
2028
等離子蝕刻設備工作氣體有氧氣,氮氣,CF4及氬氣;
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05-09
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等離子蝕刻設備電極一體成型:這涉及到恒格專利,不便透露。如需要詳情歡迎來電咨詢:0756-22921...
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