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等離子蝕刻設備使用氫氣能否與其他如氧氣放一個房間？_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設備使用氫氣能否與其他如氧氣放一個房間？
2020-05-09
master
2062
等離子蝕刻設備使用氫氣以及氧氣要獨立分開房間放置,要安裝氣體泄漏報警器。
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等離子蝕刻設備四路氣體,每路氣體有幾個減...
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